在可見光雷射的照射下，超穎透鏡會藉由非線性效應產生真空紫外光。（陽明交大提供／王惠慧新竹傳真） 真空紫外超穎透鏡的聚焦結果。（陽明交大提供／王惠慧新竹傳真） 陽明交大電子所助理教授曾銘綸與美國萊斯大學、香港城市大學、國立聯合大學、中央研究院合作，開發出可有效產生並聚焦紫外光的奈米超穎透鏡（Metasurface lens），研究成果也獲刊國際知名期刊《Science Advances》。 紫外光可應用於殺菌除汙、綠色能源生成、量子計算以及半導體廠的曝光微影，但要有效產生並控制紫外光，並不容易。 陽明交大與跨國團隊專注研究真空紫外光，曾銘綸指出，相較於一般可見光，紫外光具較高能量，皆於真空腔體操作，可應用於光化學、材料分析以及微影等前瞻科技，在次世代科技發展扮演要角。 然而，曾銘綸也說，常見光學材料會強烈吸收真空紫外光，因此如何「產生」與「控制」真空紫外光是一大難題，同時也限制科學家們探討其未被發現的潛在價值。 曾銘綸指出，超穎透鏡是一種特製設計的超穎介面，由半導體材料氧化鋅薄膜加工製作而成，其聚焦與成像與一般厚重的玻璃透鏡類似，具有更新穎的功能與應用。 團隊發現，在可見光雷射的照射下，氧化鋅可將入射的可見光雷射，轉換成真空紫外光，此現象稱做二次諧波效應，是非線性光學中經常使用的一種關鍵技術。 另外，研究也發現，要達到期望的雙重功能，超穎透鏡的奈米天線需要有良好的光學共振與適當的材料，連形狀也需符合某些條件，才能使超穎透鏡同時產生與聚焦真空紫外光。 在搭配奈米光學、非線性光學及量子力學中幾何相位的理論後，團隊決定採用氧化鋅奈米三角天線組成超穎透鏡，以電子束微影及聚焦離子束雕刻等技術製作數個超穎透鏡，並於美國萊斯大學的量測實驗中，成功觀察到超穎透鏡將可見光雷射轉換成真空紫外光，並聚焦於空間中。 此超穎透鏡產生的聚焦光點僅約為兩個微米，在聚焦點的真空紫外光的單位面積強度，有21倍的顯著增強，未來可整合於現有光學系統，並應用於先進光譜研究。 展望未來，團隊盼藉超穎介面輕薄短小、功能多樣性、開發自由度的特性，實現更多紫外光超穎介面。另外，得益於台灣半導體產業居世界領導地位，看好由半導體奈米結構組成的超穎介面，未來量產與商業化潛力。 《半導體》台積電站回500元 市值拚返13兆關 強攻7奈米晶片研發 陸中科院廣發英雄帖 台東東海岸大地藝術節 我在月光海超好拍 #超穎 #紫外光 #透鏡 #真空 #產生
陽明交大與跨國團隊合作 開發真空紫外超穎透鏡 – 寶島
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